低溫等離子廢氣處理是一種利用等離子體技術(shù)處理廢氣的工藝。其主要工作原理如下：

　　1、氣體進(jìn)入反應(yīng)室：廢氣首先通過管道進(jìn)入反應(yīng)室，在進(jìn)入反應(yīng)室之前可能需要進(jìn)行預(yù)處理，例如除塵、除濕等。

　　2、產(chǎn)生等離子體：在反應(yīng)室內(nèi)，通過電極產(chǎn)生高電壓電場(chǎng)，使得氣體分子發(fā)生電離和激發(fā)，形成等離子體。等離子體是由帶正電荷的離子和帶負(fù)電荷的電子組成的高能粒子云。

　　3、氧化反應(yīng)：等離子體中的帶正電荷的離子和帶負(fù)電荷的電子與廢氣中的有機(jī)物、無機(jī)物等發(fā)生碰撞，引發(fā)氧化反應(yīng)。這些反應(yīng)會(huì)將廢氣中的有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為無害的水和二氧化碳等。

　　4、脫除廢氣：經(jīng)過氧化反應(yīng)后，廢氣中的有害物質(zhì)被轉(zhuǎn)化為無害的物質(zhì)，然后經(jīng)過排氣管道排出系統(tǒng)。

　　5、輔助處理：在實(shí)際應(yīng)用中，可能需要輔助處理一些特定的廢氣成分。例如，通過添加催化劑、吸附劑等物質(zhì)，可以進(jìn)一步提高廢氣處理效率。

　　低溫等離子廢氣處理的主要特點(diǎn)是操作溫度相對(duì)較低(一般為室溫至幾百攝氏度)，相比傳統(tǒng)的高溫等離子體處理方法具有能耗低、處理效率高、設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)。因而被廣泛應(yīng)用于廢氣處理、空氣凈化、有機(jī)廢氣回收等行業(yè)領(lǐng)域。